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Agilent VacIon Plus 20 泵是一款中型 20 L/s 离子泵。它不仅适用于学术和高能物理学 (HEP) 研究领域内的各种超高和真空应用，而且还可用于成像和放射医疗设备。
VacIon Plus 20 泵配备通用二极离子泵抽气单元，以及适用于抽除混合气体的三极离子泵和惰性气体二极离子泵抽气单元。安捷伦专有的三极离子泵抽气单元可处理大量惰性气体和氢气，对甲烷、氩气和氦气具有最高的抽速和容量。多种选项可供客户选择（如抽气单元类型、集成加热器和高压真空穿导件），可帮助客户轻松实现系统集成，获得无颗粒超高真空抽送性能。
特性
可选择三极离子泵、二极离子泵和惰性气体二极离子泵抽气单元，以使不同气体达到最佳抽速
配备 ConFlat 2.75 英寸旋转型或非旋转型法兰，可选不同方向的真空穿导件（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）
无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行
低漏电流可提供稳定的真空压力读数
低磁场可很大程度减少系统干扰
在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性
可定制不同的高压真空穿导件、泵体几何形状、额外孔和抽气单元布局，还可配备光学挡板、外部加热器和屏蔽磁体，满足您的需求
SEM 版本具有低漏电流和高稳定性，可将电子干扰降至低
可以根据您的具体需求添加特殊测试程序
性能指标
| 加热器电压 |
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| 加热器电源 |
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| 单元类型 |
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| 工作寿命 |
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| 抽气口法兰 |
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| 最大启动压力 |
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| 最高烘烤温度 |
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| 极限真空 |
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| 真空高压接头类型 |
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| 重量（只有泵时） |
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工作原理
二极离子泵元件技术
二极离子泵由一个带正电的阳极环元件和一个带负电的钛 (Ti) 阴极组成，它们浸没在磁场中，使电子在生成的等离子体中撞击周围的气体分子，从而产生正离子。较轻离子 (H2/He) 向阴极加速，穿透 Ti 层，而较重离子撞击阴极，使 Ti 溅射，并覆盖阳极环内表面。H2、N2 和 O2 等可吸收气体将与捕获的 Ti 发生反应。溅射和吸收效应与二极离子泵的抽气效应同步。
